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電子氣體
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電子特種氣體是發展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料制造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料，它被稱為電子工業的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。
| 分類 | 氣體名稱 |
| 摻雜氣 | AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、H2Se、SbH3、(CH3)2Te、(CH3)2Cd、(C2H5)2Cd、PCl3、(C2H5)2Te |
| 晶體生長氣 | SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BBr3、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、TeH2、 (CH3)Al、(C2H5)3Al、(CH3)3As、(C2H5)3As、(CH3)2Hg、(CH3)3P、(C2H5)3P、SnCl4、GeCll4、SbCl5、AlCl3、Ar、He、H2 |
| 氣相蝕刻氣 | Cl2、HCl、HF、HBr、SF6 |
| 等離子蝕刻氣 | SiH4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、CClF3、O2、C2ClF5、NF3、SF6、BCl3、CHFCl2、N2、He、Ar |
| 離子束蝕刻氣 | C3F8、CHF3、CClF3、CF4 |
| 離子注入氣 | AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、H2、N2 |
| 化學氣相沉積氣 | SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2 |
| 平衡氣（稀釋氣） | N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2 |
| 外延氣 | SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、He、H2、N2、Ar |
電子特氣設備
關鍵詞：
眾合氣體
